液冷(16):12英寸金刚石薄膜取得关键突破,产业化加速由实验室走向产线【东北计算机】0913
🔥#突破大尺寸制备瓶颈金刚石薄膜有望对接晶圆级制造。 金刚石薄膜具备超高热导率,是高功率芯片散热的重要技术路径,但大尺寸均匀沉积与成本控制长期制约产业化。六方钻依托自主研发的热丝CVD技术,经过8个月研发,在12英寸硅晶圆金刚石薄膜制备上取得关键进展,并已进入生产线调试。12英寸是当前主流半导体晶圆规格,意味着金刚石薄膜可以直接对接晶圆级芯片制造流程。
🔥#工艺指标与产能规划逐步明确多条技术路线共同推进。 热丝CVD具有设备简单、成本低及适合大面积沉积等优势,膜厚偏差可控制在±5%以内,生长速率为5–30μm/h。六方钻通过工艺手段对冲热丝污染带来的纯度损失,并规划于2027年形成12英寸年产5万片、6英寸年产20万片的产能,后续将对接下游芯片企业、推进供应链导入。钻耐科思采用“柔性薄膜+剥离法”路线,晶圆级尺寸可扩展至2–12英寸,薄膜热导率约1300W/(m·K)。两条路径分别聚焦大尺寸晶圆散热与柔性薄膜,推动金刚石薄膜由实验室走向产线。
相关公司:(未覆盖不作为投资推荐)
黄河旋风(未覆盖)、
国机精工、
沃尔德、
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风险提示:大尺寸高质量金刚石薄膜稳定制备不及预期;金刚石材料制备成本及沉积效率改善不及预期;复合结构或梯度膜层等性能优化进展不及预期。
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