中国开发出可在 DUV 光刻上实现类 3nm 节点性能的 GAA 晶体管，但 M...
📅 09-18 21:19 📰 zsxq
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中国开发出可在 DUV 光刻上实现类 3nm 节点性能的 GAA 晶体管，但 MEOL 限制仅能提供等效 5nm 节点的性能路径
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