证券研究报告·公司点评报告·半导体
东吴证券研究所
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中科飞测（688361）
2026年三季报点评：Q3盈利环比改善，明暗
场设备持续突破
2026年11月03日
证券分析师 周尔双
执业证书：S0600515110002
021-60199784
zhouersh@dwzq.com.cn
证券分析师 李文意
执业证书：S0600524080005
liwenyi@dwzq.com.cn
股价走势
市场数据
收盘价(元) 223.51
一年最低/最高价 111.20/458.98
市净率(倍) 15.35
流通A股市值(百万元) 78,687.07
总市值(百万元) 78,687.07
基础数据
每股净资产(元,LF) 14.56
资产负债率(%,LF) 46.83
总股本(百万股) 352.05
流通A股(百万股) 352.05
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程量检测设备验证进展顺利》
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增持（维持）
[Table_EPS] 盈利预测与估值 2024A 2025A 2026E 2027E 2028E
营业总收入（百万元） 1,380 2,053 3,072 4,411 6,168
同比（%） 54.94 48.75 49.63 43.56 39.84
归母净利润（百万元） (11.53) 58.65 176.71 704.03 1,082.33
同比（%） (108.21) 608.91 201.29 298.41 53.73
EPS-最新摊薄（元/股） (0.03) 0.17 0.50 2.00 3.07
P/E（现价&最新摊薄） (6,514.95) 1,280.18 424.90 106.65 69.37
[Table_Tag]
[Table_Summary] 投资要点
◼ 营收高速增长，Q3扭亏为盈：2026年前三季度公司实现营业收入16.14亿
元，同比+34.3%，受益于新产品产业化及现有产品迭代升级，业务规模持
续增长；归母净利润-0.95亿元，扣非归母净利润-2.05亿元，同比亏损扩大，
主要系公司持续加大研发及市场投入、人员规模扩张，叠加新产品推广及
销售结构变化导致毛利率同比下降。Q3单季实现营业收入6.73亿元，同比
+34.7%、环比+23.5%；归母净利润0.32亿元，同比+783.7%、环比扭亏为
盈；扣非归母净利润-0.13亿元，同比及环比均减亏。
◼ Q3盈利能力同环比改善，持续加码研发投入：2026年前三季度公司毛利
率为48.35%，同比-3.63pct；归母净利率为-5.9%，同比-4.67pct。期间费用
率为 61.3%，同比 +3.6pct，其中销售 /管理/研发/财务费用率分别为
9.2%/12.1%/39.3%/0.8%，同比+1.6/-0.3/+2.7/-0.4pct。公司持续保持高强度研
发投入，前三季度研发投入6.35亿元，同比+44.3%，占营收比例为39.3%。
Q3 单季毛利率为 51.46%，同比+2.77pct、环比+6.53pct；归母净利率为
4.80%，同比+4.07pct、环比+15.71pct，盈利水平环比明显改善。
◼ 合同负债与存货持续增长，经营现金流同比改善：截至2026年三季度末，
公司合同负债为14.30亿元，同比+151.7%，主要系业务规模扩大带动合同
预收款增加；存货为42.89亿元，同比+69.1%，反映公司业务扩张过程中的
备货及交付准备持续增加。2026年前三季度公司经营活动净现金流为-3.46
亿元，同比净流出收窄，主要受益于合同回款力度加大、经营性现金流入增
幅高于流出增幅；其中Q3单季经营活动净现金流为-1.56亿元，同比及环
比净流出均收窄，现金流状况有所改善。
◼ 明暗场设备实现批量销售，先进制程及海外市场持续拓展：公司形成“光学
+电子束+X光”三大技术路线，产品覆盖先进逻辑、存储及 HBM/2.5D/3D
先进封装等领域，多款设备实现批量销售或进入头部客户验证阶段。 （1）检
测设备：①明暗场设备持续突破：明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已在成
熟制程实现批量销售，先进制程产品在国内头部逻辑、存储客户验证进展
顺利并获得部分订单；暗场设备已在国内头部逻辑、存储及先进封装客户
实现批量销售，订单及出货量快速增长，面向前沿工艺的新品进入客户样
片验证阶段。②成熟产品加速海外拓展：无图形晶圆缺陷检测设备已实现
海外先进封装客户销售，并进入海外先进制程客户产线验证；图形晶圆缺
陷检测设备已通过多家海外先进封装客户验证并实现批量销售。 （2）量测
设备：①光学量测产品持续拓展：三维形貌量测设备已在海外先进封装客
户实现批量销售，膜厚量测设备实现海外销售并进入先进制程客户验证；
第四代套刻精度量测设备已出货国内多家头部客户验证，第二代光学关键
尺寸量测设备实现小批量出货。②电子束及X光新品加速验证：电子束关
键尺寸量测设备完成样机研发并推进客户样片验证；高深宽比刻蚀结构及
硅通孔铜填充空隙量测设备已通过国内头部存储客户产线验证，晶圆平整
度量测设备已出货国内头部HBM客户验证。 （3）良率管理软件：三大系列
智能软件均已应用于国内头部客户，并结合质量控制设备产品组合，助力
客户提升半导体制造良率和产品性能。
◼ 盈利预测与投资评级：考虑到产品放量仍需一定周期，我们下调公司2026
年归母净利润为1.8（原值2.4）亿元，基本维持公司2027/2028年归母净利
润为7.0/10.8亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为425/107/69
倍，维持“增持”评级。
◼ 风险提示：下游需求波动风险、市场竞争加剧风险。
-14%
16%
46%
76%
106%
136%
166%
196%
226%
256%
2025/11/3 2026/3/4 2026/7/3 2026/11/1
中科飞测 沪深300
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中科飞测三大财务预测表
[Table_Finance] 资产负债表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E 利润表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E
流动资产 6,513 9,507 12,179 15,509 营业总收入 2,053 3,072 4,411 6,168
货币资金及交易性金融资产 2,375 1,960 2,406 3,032 营业成本(含金融类) 1,028 1,506 2,111 2,868
经营性应收款项 824 1,679 2,155 2,999 税金及附加 5 9 7 9
存货 2,699 4,883 6,287 7,782 销售费用 152 230 300 401
合同资产 29 92 132 185 管理费用 212 338 423 574
其他流动资产 585 893 1,199 1,512 研发费用 656 1,106 1,261 1,727
非流动资产 1,424 1,321 1,211 1,103 财务费用 18 13 21 17
长期股权投资 0 0 0 0 加:其他收益 169 369 551 771
固定资产及使用权资产 834 819 718 573 投资净收益 12 55 66 31
在建工程 268 135 68 35 公允价值变动 0 0 0 0
无形资产 151 190 243 309 减值损失 (120) (90) (95) (99)
商誉 0 0 0 0 资产处置收益 1 1 0 0
长期待摊费用 35 40 45 50 营业利润 45 205 810 1,274
其他非流动资产 136 136 136 136 营业外净收支 0 (2) (1) (1)
资产总计 7,937 10,827 13,390 16,613 利润总额 45 203 809 1,273
流动负债 2,128 4,841 6,700 8,840 减:所得税 (14) 26 105 191
短期借款及一年内到期的非流动负债 491 591 671 731 净利润 59 177 704 1,082
经营性应付款项 693 1,651 2,313 3,143 减:少数股东损益 0 0 0 0
合同负债 565 1,808 2,533 3,442 归属母公司净利润 59 177 704 1,082
其他流动负债 379 792 1,183 1,524
非流动负债 690 690 690 690 每股收益-最新股本摊薄(元) 0.17 0.50 2.00 3.07
长期借款 428 428 428 428
应付债券 0 0 0 0 EBIT 53 (118) 308 589
租赁负债 71 71 71 71 EBITDA 149 45 490 782
其他非流动负债 190 190 190 190
负债合计 2,817 5,531 7,390 9,530 毛利率(%) 49.93 50.97 52.14 53.50
归属母公司股东权益 5,120 5,296 6,000 7,083 归母净利率(%) 2.86 5.75 15.96 17.55
少数股东权益 0 0 0 0
所有者权益合计 5,120 5,296 6,000 7,083 收入增长率(%) 48.75 49.63 43.56 39.84
负债和股东权益 7,937 10,827 13,390 16,613 归母净利润增长率(%) 608.91 201.29 298.41 53.73
现金流量表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E 重要财务与估值指标 2025A 2026E 2027E 2028E
经营活动现金流 (862) (474) 413 663 每股净资产(元) 14.62 15.13 17.14 20.23
投资活动现金流 (1,142) (4) (7) (55) 最新发行在外股份（百万股） 352 352 352 352
筹资活动现金流 3,161 63 41 19 ROIC(%) 1.58 (1.64) 3.96 6.47
现金净增加额 1,157 (415) 446 626 ROE-摊薄(%) 1.15 3.34 11.73 15.28
折旧和摊销 97 162 182 193 资产负债率(%) 35.49 51.08 55.19 57.36
资本开支 (577) (55) (68) (81) P/E（现价&最新股本摊薄） 1,280.18 424.90 106.65 69.37
营运资本变动 (1,127) (885) (543) (723) P/B（现价） 14.59 14.10 12.45 10.54
数据来源:Wind,东吴证券研究所，全文如无特殊注明，相关数据的货币单位均为人民币，预测均为东吴证券研究所预测。
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东吴证券投资评级标准
投资评级基于分析师对报告发布日后 6至 12个月内行业或公司回报潜力相对基准表现
的预期（A 股市场基准为沪深 300 指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普
500 指数，新三板基准指数为三板成指（针对协议转让标的）或三板做市指数（针对做市转
让标的），北交所基准指数为北证 50指数），具体如下：
公司投资评级：
买入：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准在 15%以上；
增持：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准介于 5%与 15%之间；
中性：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准介于-5%与 5%之间；
减持：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准介于-15%与-5%之间；
卖出：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准在-15%以下。
行业投资评级：
增持： 预期未来 6个月内，行业指数相对强于基准 5%以上；
中性： 预期未来 6个月内，行业指数相对基准-5%与 5%；
减持： 预期未来 6个月内，行业指数相对弱于基准 5%以上。
我们在此提醒您，不同证券研究机构采用不同的评级术语及评级标准。我们采用的是相
对评级体系，表示投资的相对比重建议。投资者买入或者卖出证券的决定应当充分考虑自身
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