证券研究报告·公司点评报告·光伏设备
东吴证券研究所
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微导纳米（688147）
2026年三季报点评：半导体业务稳步放量，
薄膜平台布局落地中
2026年11月03日
证券分析师 周尔双
执业证书：S0600515110002
021-60199784
zhouersh@dwzq.com.cn
证券分析师 李文意
执业证书：S0600524080005
liwenyi@dwzq.com.cn
股价走势
市场数据
收盘价(元) 56.55
一年最低/最高价 48.18/171.90
市净率(倍) 8.47
流通A股市值(百万元) 26,265.84
总市值(百万元) 26,265.84
基础数据
每股净资产(元,LF) 6.68
资产负债率(%,LF) 66.73
总股本(百万股) 464.47
流通A股(百万股) 464.47
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增持（维持）
[Table_EPS] 盈利预测与估值 2024A 2025A 2026E 2027E 2028E
营业总收入（百万元） 2,700 2,633 2,624 4,226 6,292
同比（%） 60.74 (2.47) (0.36) 61.04 48.89
归母净利润（百万元） 226.71 219.37 307.34 537.17 844.43
同比（%） (16.16) (3.23) 40.10 74.78 57.20
EPS-最新摊薄（元/股） 0.49 0.47 0.66 1.16 1.82
P/E（现价&最新摊薄） 115.86 119.73 85.46 48.90 31.10
[Table_Tag]
[Table_Summary] 投资要点
◼ 营收结构持续优化，半导体业务加速起量：2026年前三季度公司实现营收18.08亿
元，同比+5.0%；归母净利润1.61亿元，同比-35.2%；扣非归母净利润1.1亿元，
同比-40.6%。2026Q3单季实现营收6.19亿元，同比-7.9%，环比-12.5%；归母净利
润0.58亿元，同比+4.2%，环比-28.2%；扣非归母净利润0.50亿元，同比+1.9%，
环比+31.1%。2026Q3归母净利润环比减少及2026年前三季度归母净利润同比减少
主要系光伏行业阶段性调整影响，半导体设备业务快速增长，但尚处于规模放量初
期，折旧摊销及产品结构等因素影响较大，公司整体营业成本同比上涨较快所致。
◼ 盈利能力短期承压，Q3毛利率同比改善 4.6pct：2026 年前三季度公司毛利率为
31.5%，同比-0.9pct；销售净利率为8.9%，同比-5.5pct；期间费用率为25.4%，同比
+3.9pct，其中销售/管理/研发/财务费用率分别为 3.2%/5.8%/12.6%/3.8%，同比
+0.1pct/+1.0pct/+1.0pct/+1.8pct。2026Q3 单季毛利率为 31.2%，同比+4.6pct，环比
+0.4pct；销售净利率为9.5%，同比+1.1pct，环比-2.1pct。
◼ 经营性现金流转负，存货与合同负债同比下降：截至2026年9月末，公司存货为
30.26亿元，同比-16.3%；合同负债为14.49亿元，同比-33.9%。2026前三季度公司
经营活动净现金流为-0.14亿元，同比由正转负。2026Q3单季经营活动净现金流为
-2.06亿元，同环比由正转负，主要系受收付款节奏等因素影响，公司经营活动产生
的现金流量净额阶段性减少所致。
◼ 半导体设备持续突破，订单快速放量：公司多款ALD、CVD设备获得重点客户验
证与量产导入，半导体设备新签订单规模再创新高，占全部新签订单比例超85%，
增量主要来自存储领域客户。 （1）分产品来看，①ALD 设备：由逻辑、存储、先进
封装等主流应用场景成功拓展至硅基电容等新兴应用场景，并在前沿技术领域持续
取得突破；②CVD设备：完成下一代新型碳膜及掺杂碳膜设备开发，LPCVD等产
品逐步获得产业链重要客户量产重复订单。 ③PVD设备：10月14日发布iMagtron SC
系列高离化磁控溅射系统，以及应用于平面结构的 PVD Ti/TiN 设备，即
iMagtron BK 系列直流磁控溅射系统，PVD 技术已经大步跨入量产产品化推进阶
段。 （2）分应用场景来看，①存储：ALD与高端CVD设备已批量应用于国产存储
芯片量产产线，随存储芯片3D堆叠层数持续提升、客户产能规模加速扩张，相关
设备需求有望持续放量。②逻辑：多款设备已通过客户严格的技术验证，关键指标
达国际先进水平。③先进封装：公司积极推动设备在客户端验证，产品采用独特低
温控制技术，适配Chiplet、2.5D/3D封装对低热预算、厚膜沉积等需求。产能建设
方面，2025 年可转债募投项目加速推进，薄膜沉积设备智能化工厂投资进度已超
60%，持续提升规模化交付能力。
◼ 前瞻布局新兴领域，培育第二增长曲线：①固态电池：ALD技术可用于固态电解质
薄膜制备与致密化、界面缓冲层构筑及锂金属负极保护，有效提升库伦效率与循环
稳定性。②硅基OLED：ALD凭借原子级厚度控制精度与优异薄膜均匀性，可满足
硅基OLED钝化层、封装层等关键薄膜沉积需求。③面板级封装：公司布局玻璃基
PLP所需ALD/CVD薄膜沉积设备，可满足TGV内壁绝缘层、RDL侧壁保护层及
大面积多层介电层等制程需求。
◼ 盈利预测与投资评级：考虑到下游行业高景气， 公司新产品放量， 我们下调公司2026
年归母净利润为3.1（原值为3.7）亿元，上调2027-2028年归母净利润预测为5.4
（原值为4.8）/8.4（原值为6.1）亿元，当前市值对应2026-2028年动态PE分别为
85/49/31X，维持“增持”评级。
◼ 风险提示：下游扩产不及预期，新品拓展不及预期。
-14%
9%
32%
55%
78%
101%
124%
147%
170%
193%
216%
2025/11/3 2026/3/4 2026/7/3 2026/11/1
微导纳米 沪深300
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公司点评报告
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微导纳米三大财务预测表
[Table_Finance] 资产负债表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E 利润表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E
流动资产 8,137 8,288 10,471 13,778 营业总收入 2,633 2,624 4,226 6,292
货币资金及交易性金融资产 3,768 4,263 3,718 3,890 营业成本(含金融类) 1,773 1,698 2,728 4,055
经营性应收款项 979 875 1,747 2,612 税金及附加 6 5 8 13
存货 3,109 2,325 2,616 3,889 销售费用 75 79 127 189
合同资产 163 206 1,268 1,762 管理费用 128 157 254 378
其他流动资产 117 619 1,122 1,626 研发费用 265 341 549 790
非流动资产 1,532 1,644 1,678 1,694 财务费用 47 6 8 8
长期股权投资 0 0 0 0 加:其他收益 107 26 42 63
固定资产及使用权资产 786 858 849 820 投资净收益 5 0 0 0
在建工程 12 6 3 1 公允价值变动 0 0 0 0
无形资产 48 94 140 186 减值损失 (231) (30) (10) (5)
商誉 0 0 0 0 资产处置收益 0 0 0 0
长期待摊费用 102 102 102 102 营业利润 220 334 584 918
其他非流动资产 584 584 584 584 营业外净收支 1 0 0 0
资产总计 9,669 9,933 12,149 15,473 利润总额 221 334 584 918
流动负债 4,422 4,278 5,847 8,206 减:所得税 2 27 47 73
短期借款及一年内到期的非流动负债 1,287 604 514 404 净利润 219 307 537 844
经营性应付款项 877 1,463 1,985 2,975 减:少数股东损益 0 0 0 0
合同负债 1,957 1,874 3,011 4,477 归属母公司净利润 219 307 537 844
其他流动负债 301 338 337 351
非流动负债 2,283 2,383 2,493 2,613 每股收益-最新股本摊薄(元) 0.47 0.66 1.16 1.82
长期借款 703 753 803 853
应付债券 1,079 1,079 1,079 1,079 EBIT 248 344 560 868
租赁负债 188 238 298 368 EBITDA 342 442 666 982
其他非流动负债 313 313 313 313
负债合计 6,705 6,661 8,340 10,819 毛利率(%) 32.69 35.30 35.44 35.55
归属母公司股东权益 2,964 3,271 3,809 4,653 归母净利率(%) 8.33 11.71 12.71 13.42
少数股东权益 0 0 0 0
所有者权益合计 2,964 3,271 3,809 4,653 收入增长率(%) (2.47) (0.36) 61.04 48.89
负债和股东权益 9,669 9,933 12,149 15,473 归母净利润增长率(%) (3.23) 40.10 74.78 57.20
现金流量表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E 重要财务与估值指标 2025A 2026E 2027E 2028E
经营活动现金流 391 1,288 (425) 291 每股净资产(元) 6.26 6.93 8.09 9.92
投资活动现金流 (355) (210) (140) (130) 最新发行在外股份（百万股） 464 464 464 464
筹资活动现金流 1,729 (583) 20 10 ROIC(%) 4.63 5.20 8.27 11.52
现金净增加额 1,779 495 (545) 171 ROE-摊薄(%) 7.40 9.39 14.10 18.15
折旧和摊销 95 98 107 114 资产负债率(%) 69.35 67.06 68.65 69.93
资本开支 (280) (210) (140) (130) P/E（现价&最新股本摊薄） 119.73 85.46 48.90 31.10
营运资本变动 (161) 853 (1,079) (672) P/B（现价） 9.03 8.16 6.99 5.70
数据来源:Wind,东吴证券研究所，全文如无特殊注明，相关数据的货币单位均为人民币，预测均为东吴证券研究所预测。
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东吴证券投资评级标准
投资评级基于分析师对报告发布日后 6至 12个月内行业或公司回报潜力相对基准表现
的预期（A 股市场基准为沪深 300 指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普
500 指数，新三板基准指数为三板成指（针对协议转让标的）或三板做市指数（针对做市转
让标的），北交所基准指数为北证 50指数），具体如下：
公司投资评级：
买入：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准在 15%以上；
增持：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准介于 5%与 15%之间；
中性：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准介于-5%与 5%之间；
减持：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准介于-15%与-5%之间；
卖出：预期未来 6个月个股涨跌幅相对基准在-15%以下。
行业投资评级：
增持： 预期未来 6个月内，行业指数相对强于基准 5%以上；
中性： 预期未来 6个月内，行业指数相对基准-5%与 5%；
减持： 预期未来 6个月内，行业指数相对弱于基准 5%以上。
我们在此提醒您，不同证券研究机构采用不同的评级术语及评级标准。我们采用的是相
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