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微导纳米（688147）
公司点评
半导体收入和订单快速增长，薄膜沉积设备布局
持续突破
投资评级： 增持（维持）
报告日期： 2026-10-29
收盘价（元） 59.56
近 12 个月最高/最低（元） 171.90/47.25
总股本（百万股） 464
流通股本（百万股） 464
流通股比例（%） 100.00
总市值（亿元） 277
流通市值（亿元） 277
公司价格与沪深 300 走势比较
分析师：张志邦
执业证书号：S0010523120004
电话：15652947918
邮箱：zhangzhibang@hazq.com
分析师：张欣
执业证书号：S0010526040002
邮箱：zhangxin2@hazq.com
主要观点：
公司发布 2026 年三季度业绩：
公司 2026Q3 实现营业收入 6.2 亿元，同比-7.9%，环比-12.5%，营收
下滑主要受光伏行业阶段性调整影响，同时半导体设备处放量初期；归
母净利润 0.58 亿元，同比+4.2%，环比-28.2%；扣非后净利润 0.50 亿
元，同比+1.9%，环比+31.1%。26Q3 毛利率 31.2%，同比+4.6pct，环
比+0.4pct。
半导体收入和订单快速增长，ALD/CVD/PVD 产品品类持续丰富
2026 年 1-9 月，公司实现半导体设备业务收入 9.98 亿元，同比增长
89.69%，占主营业务收入比重提升至 55.40%，已成为公司第一大收入
来源和核心增长引擎。
截至 2026 年 9 月末，公司在手订单总额约 67 亿元。其中，半导体领域
订单占在手订单总额的比例超过 2/3。2026 年 1-9 月新增订单中，半导
体领域订单占比超过 85%，增量主要来自于 NAND、DRAM 和逻辑领域
的头部客户。
ALD 方面，公司将量产型 High-k 工艺专用 ALD 设备应用于集成电路制
造生产线，已全面覆盖主流薄膜材料与核心工艺。设备应用场景已覆盖
逻辑芯片、DRAM、3DNAND、新型存储、先进封装等，并拓展至硅基
电容等新兴应用场景。公司最新推出的 iTomicMeT 系列原子层沉积系统
Ru 工艺专用设备，攻克金属 Ru 薄膜超薄连续成膜难题，为下一代互连
技术提供工艺解决方案。
CVD 方面，公司将硬掩膜工艺专用 PECVD 设备导入产业链核心厂商量
产线，完成高温 CarbonPlug、HDC、WDC 等新型碳膜及掺杂碳膜设备
与工艺开发，LPCVD 获产业链重要客户量产重复订单。
PVD 方面，公司已发布两款 iMagtron 系列磁控溅射设备，分别为后道
铜阻挡层/种子层集成工艺系统与金属硬掩模工艺系统，面向集成电路制
造后道金属互连的工艺需求。
投资建议
我们预计公司 2026/2027/2028 年归母净利润分别为 3.0/5.0/7.0 亿元，
当前市值对应 2026/2027/2028 年盈利的 PE 为 94X/56X/40X，维持“增
持”评级。
风险提示
公司获取订单节奏不及预期；下游行业需求不及预期；技术迭代风险。
重要财务指标 单位:百万元
主要财务指标 2025A 2026E 2027E 2028E
营业收入 2633 2788 3942 5215
收入同比（%） -2.5% 5.9% 41.4% 32.3%
归属母公司净利润 219 295 496 695
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微导纳米（688147）
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净利润同比（%） -3.2% 34.4% 68.1% 40.2%
毛利率（%） 32.7% 34.5% 35.1% 36.7%
ROE（%） 7.4% 9.4% 14.2% 17.5%
每股收益（元） 0.48 0.63 1.07 1.50
P/E 130.81 93.84 55.81 39.82
P/B 9.77 8.80 7.93 6.96
EV/EBITDA 84.30 54.32 38.74 29.65
资料来源： wind，
华安证券研究所
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微导纳米（688147）
财务报表与盈利预测
资产负债表 单位:百万元 利润表 单位:百万元
会计年度 2025A 2026E 2027E 2028E 会计年度 2025A 2026E 2027E 2028E
流动资产 8137 8991 10514 12279 营业收入 2633 2788 3942 5215
现金 3348 4242 4177 4287 营业成本 1773 1826 2559 3301
应收账款 764 759 1044 1363 营业税金及附加 6 11 12 16
其他应收款 8 9 13 17 销售费用 75 78 114 156
预付账款 60 62 86 111 管理费用 128 139 213 365
存货 3109 3104 4288 5491 财务费用 47 67 54 55
其他流动资产 848 816 906 1010 资产减值损失 -110 -100 -100 -100
非流动资产 1532 1535 1666 1790 公允价值变动收益 0 0 0 0
长期投资 0 0 0 0 投资净收益 5 24 23 28
固定资产 590 793 969 1119 营业利润 220 302 502 706
无形资产 48 20 0 0 营业外收入 2 2 2 2
其他非流动资产 894 722 697 672 营业外支出 1 1 2 1
资产总计 9669 10526 12180 14069 利润总额 221 303 502 706
流动负债 4422 5090 6399 7803 所得税 2 9 7 12
短期借款 963 963 963 963 净利润 219 295 496 695
应付账款 600 618 866 1118 少数股东损益 0 0 0 0
其他流动负债 2859 3508 4569 5722 归属母公司净利润 219 295 496 695
非流动负债 2283 2291 2291 2291 EBITDA 342.43 500.74 703.69 915.87
长期借款 703 703 703 703 EPS（元） 0.48 0.63 1.07 1.50
其他非流动负债 1580 1588 1588 1588
负债合计 6705 7381 8689 10094 主要财务比率
少数股东权益 0 0 0 0 会计年度 2025A 2026E 2027E 2028E
股本 461 461 461 461 成长能力
资本公积 1695 1695 1695 1695 营业收入 -2.5% 5.9% 41.4% 32.3%
留存收益 808 989 1335 1819 营业利润 -3.1% 37.1% 66.0% 40.7%
归属母公司股东权益 2964 3145 3491 3975 归属于母公司净利润 -3.2% 34.4% 68.1% 40.2%
负债和股东权益 9669 10526 12180 14069 获利能力
毛利率（%） 32.7% 34.5% 35.1% 36.7%
现金流量表 单位:百万元 净利率（%） 8.3% 10.6% 12.6% 13.3%
会计年度 2025A 2026E 2027E 2028E ROE（%） 7.4% 9.4% 14.2% 17.5%
经营活动现金流 391 680 458 687 ROIC（%） 3.9% 5.2% 7.6% 9.7%
净利润 219 295 496 695 偿债能力
折旧摊销 95 130 148 155 资产负债率（%） 69.3% 70.1% 71.3% 71.7%
财务费用 54 117 117 117 净负债比率（%） 226.2% 234.7% 248.9% 253.9%
投资损失 -5 -24 -23 -28 流动比率 1.84 1.77 1.64 1.57
营运资金变动 -161 -11 -479 -450 速动比率 1.06 1.09 0.90 0.80
其他经营现金流 569 478 1174 1344 营运能力
投资活动现金流 -355 -86 -255 -249 总资产周转率 0.29 0.28 0.35 0.40
资本支出 -280 -87 -278 -277 应收账款周转率 3.63 3.66 4.37 4.33
长期投资 -91 0 0 0 应付账款周转率 2.55 3.00 3.45 3.33
其他投资现金流 16 1 23 28 每股指标（元）
筹资活动现金流 1729 325 -267 -327 每股收益 0.48 0.63 1.07 1.50
短期借款 -399 0 0 0 每股经营现金流(摊薄) 0.84 1.46 0.99 1.48
长期借款 516 0 0 0 每股净资产 6.43 6.77 7.52 8.56
普通股增加 3 0 0 0 估值比率
资本公积增加 117 0 0 0 P/E 130.81 93.84 55.81 39.82
其他筹资现金流 1491 325 -267 -327 P/B 9.77 8.80 7.93 6.96
现金净增加额 1779 894 -64 110 EV/EBITDA 84.30 54.32 38.74 29.65
资料来源：公司公告，华安证券研究所
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微导纳米（688147）
分析师与研究助理简介
分析师：张志邦，华安证券电新&汽车行业首席分析师，所长助理，香港中文大学金融学硕士，8 年卖方行业研究
经验，专注于储能/ 新能源车/电力设备工控行业研究。
分析师：张欣，华安证券电新&汽车行业资深分析师，主要覆盖光伏、风电等行业。
重要声明
分析师声明
本报告署名分析师具有中国证券业协会授予的证券投资咨询执业资格，以勤勉的执业态度、专业审慎的研究方法，
使用合法合规的信息，独立、客观地出具本报告，本报告所采用的数据和信息均来自市场公开信息，本人对这些信
息的准确性或完整性不做任何保证，也不保证所包含的信息和建议不会发生任何变更。报告中的信息和意见仅供参
考。本人过去不曾与、现在不与、未来也将不会因本报告中的具体推荐意见或观点而直接或间接收任何形式的补偿，
分析结论不受任何第三方的授意或影响，特此声明。
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投资评级说明
以本报告发布之日起 6 个月内，证券（或行业指数）相对于同期相关证券市场代表性指数的涨跌幅作为基准，A 股
以沪深 300 指数为基准；新三板市场以三板成指（针对协议转让标的）或三板做市指数（针对做市转让标的）为
基准；香港市场以恒生指数为基准；美国市场以纳斯达克指数或标普 500 指数为基准。定义如下：
行业评级体系
增持—未来 6 个月的投资收益率领先市场基准指数 5%以上;
中性—未来 6 个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至 5%;
减持—未来 6 个月的投资收益率落后市场基准指数 5%以上;
公司评级体系
买入—未来 6-12 个月的投资收益率领先市场基准指数 15%以上；
增持—未来 6-12 个月的投资收益率领先市场基准指数 5%至 15%；
中性—未来 6-12 个月的投资收益率与市场基准指数的变动幅度相差-5%至 5%；
减持—未来 6-12 个月的投资收益率落后市场基准指数 5%至 15%；
卖出—未来 6-12 个月的投资收益率落后市场基准指数 15%以上；
无评级—因无法获取必要的资料，或者公司面临无法预见结果的重大不确定性事件，或者其他原因，致使无法
给出明确的投资评级。