证券研究报告·公司点评报告·半导体
东吴证券研究所
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屹唐股份（688729）
2026 年三季报点评：Q3 业绩加速释放， 三大
设备平台协同发展
2026 年 11 月 02 日
证券分析师 周尔双
执业证书：S0600515110002
021-60199784
zhouersh@dwzq.com.cn
证券分析师 李文意
执业证书：S0600524080005
liwenyi@dwzq.com.cn
股价走势
市场数据
收盘价(元) 18.29
一年最低/最高价 16.68/44.30
市净率(倍) 5.52
流通 A 股市值(百万元) 31,975.26
总市值(百万元) 54,057.19
基础数据
每股净资产(元,LF) 3.31
资产负债率(%,LF) 18.06
总股本(百万股) 2,955.56
流通 A 股(百万股) 1,748.24
相关研究
《屹唐股份 (688729)：前道设备隐形
冠军， 平台化布局去胶、RTP、 刻蚀设
备》
2025-11-26
增持（维持）
[Table_EPS] 盈利预测与估值 2024A 2025A 2026E 2027E 2028E
营业总收入（百万元） 4,633 5,076 5,095 7,706 11,525
同比（%） 17.84 9.57 0.37 51.23 49.57
归母净利润（百万元） 540.80 670.78 1,321.61 1,707.80 2,314.49
同比（%） 74.78 24.03 97.03 29.22 35.52
EPS-最新摊薄（元/股） 0.18 0.23 0.45 0.58 0.78
P/E（现价&最新摊薄） 99.96 80.59 40.90 31.65 23.36
[Table_Tag]
[T able_Summary] 投资要点
◼ 业绩高增：2026 前三季度公司营收 35.83 亿元，同比-5.61%；归母净利
润为 10.73 亿元，同比 +108.04%，扣非归母净利润 4.27 亿元，同比
+3.38%。Q3 单季营收 14.52 亿元，同比+10.46%，环比+32.68%；归母
净利润为 6.77 亿元，同比+303.40%，环比+186.47%，扣非归母净利润
为 1.84 亿元，同比+16.01%，环比+33.40%。归母净利润增长主要系公
允价值变动收益增加、主营业务毛利率持续改善。
◼ 盈利能力稳步提升：2026 前三季度毛利率为 39.21%， 同比+1.84pct；销
售净利率为 29.94%，同比 +16.36pct。期间费用率为 26.56%，同比
+0.15pct， 其中销售费用率为7.25%， 同比+0.78pct， 管理费用率为5.37%，
同比+0.49pct，研发费用率为 13.06%，同比 -1.42pct，财务费用率为
0.88%， 同比+0.31pct。Q3 单季度毛利率为 37.23%， 同比-2.91pct， 环比
-3.83pct；销售净利率为 46.63%，同比+33.86pct，环比+25.04pct。
◼ 前三季度经营性现金流同比改善， 研发投入稳步增长：截至 2026Q3 末，
公司合同负债为 4.81 亿元，较年初-30.86%；存货为 32.26 亿元，较年
初-6.11%。2026 前三季度公司经营活动净现金流为 5.99 亿元，同比转
正，主要系公司 25 年同期提前储备关键存货；Q3 单季度为-0.05 亿元，
同比净流出扩大， 环比转负， 主要系公司为满足业务需求增加相关现金
支出。2026 年前三季度研发投入 5.69 亿元，同比+3.46%，研发投入占
比 15.87%，同比+1.39pct，其中 Q3 研发投入 1.93 亿元，同比+5.69%，
环比+0.58%，研发投入占比 13.31%，同比-0.60pct，环比-4.25pct。
◼ 三大设备平台协同放量，拟投资 18 亿元扩产：公司已形成干法去胶、
快速热处理、 干法刻蚀及等离子体表面处理三大类具有国际竞争力的成
熟设备产品线。同时， 公司拟投资约18 亿元建设半导体装备制造基地，
扩大核心设备产能， 提升规模化生产及产业化能力。（1） 干法去胶设备：
新一代先进干法去胶设备 Optima®系列已成功导入前道晶圆制造以及
先进封装领域的多家客户形成量产。 （2） 快速热处理设备： 公司已开展
新一代常压快速热处理设备以及快速热处理一体化设备等研发工作， 各
项目均取得关键进展。 （3） 干法刻蚀及等离子体表面处理设备： 新一代
先进干法刻蚀设备 RENA-E®已成功导入多家前道晶圆制造客户形成量
产， 新签订单层面开始放量； 先进等离子体表面处理和材料改性设备已
导入海外先进存储器、先进逻辑领域多家客户并持续获得重复订单。
◼ 盈利预测与投资评级：考虑到公司持续受益于下游扩产， 我们上调公司
2026-2027 年归母净利润预测分别为 13.2/17.1 亿元（原值为 8.5/12.2 亿
元） ， 预测2028 年归母净利润为 23.1 亿元，对应当前股价 PE 为 41/32/23
倍，维持“增持”评级。
◼ 风险提示：下游扩产不及预期，新业务拓展不及预期。
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2025/11/3 2026/3/4 2026/7/3 2026/11/1
屹唐股份 沪深300
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公司点评报告
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屹唐股份三大财务预测表
[Table_Finance] 资产负债表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E 利润表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E
流动资产 8,071 9,315 11,560 14,678 营业总收入 5,076 5,095 7,706 11,525
货 币 资 金 及 交 易 性 金 融 资 产 3,592 4,822 5,872 6,985 营业成本(含 金 融 类) 3,135 3,117 4,605 6,779
经 营 性 应 收 款 项 549 1,133 1,662 2,233 税 金 及 附 加 6 8 8 12
存货 3,436 1,281 1,514 2,229 销售费用 322 357 424 576
合同资产 0 1,529 1,926 2,593 管理费用 259 255 347 519
其 他 流 动 资 产 494 550 586 638 研发费用 739 662 925 1,297
非流动资产 3,313 3,438 3,596 3,744 财务费用 15 52 55 58
长 期 股 权 投 资 0 0 0 0 加:其 他 收 益 114 41 77 115
固 定 资 产 及 使 用 权 资 产 1,096 1,310 1,516 1,692 投 资 净 收 益 0 0 0 0
在建工程 185 98 54 32 公 允 价 值 变 动 25 800 500 200
无形资产 71 72 74 76 减值损失 (58) 0 0 0
商誉 965 961 955 947 资 产 处 置 收 益 0 0 0 0
长 期 待 摊 费 用 54 54 54 54 营业利润 680 1,485 1,919 2,601
其 他 非 流 动 资 产 943 943 943 943 营 业 外 净 收 支 0 0 0 0
资产总计 11,384 12,753 15,156 18,422 利润总额 680 1,485 1,919 2,601
流动负债 1,759 1,806 2,502 3,453 减:所 得 税 10 163 211 286
短 期 借 款 及 一 年 内 到 期 的 非 流 动 负 债 409 414 424 447 净利润 671 1,322 1,708 2,314
经 营 性 应 付 款 项 354 510 717 1,025 减:少 数 股 东 损 益 0 0 0 0
合同负债 696 530 875 1,288 归属母公司净利润 671 1,322 1,708 2,314
其 他 流 动 负 债 300 353 485 693
非流动负债 708 708 708 708 每股收益-最 新 股 本 摊 薄(元) 0.23 0.45 0.58 0.78
长期借款 395 395 395 395
应付债券 0 0 0 0 EBIT 671 696 1,397 2,344
租赁负债 175 175 175 175 EBITDA 881 913 1,656 2,647
其 他 非 流 动 负 债 138 138 138 138
负债合计 2,467 2,515 3,210 4,162 毛利率(%) 38.25 38.83 40.23 41.19
归 属 母 公 司 股 东 权 益 8,916 10,238 11,946 14,260 归 母 净 利 率(%) 13.21 25.94 22.16 20.08
少 数 股 东 权 益 0 0 0 0
所有者权益合计 8,916 10,238 11,946 14,260 收 入 增 长 率(%) 9.57 0.37 51.23 49.57
负债和股东权益 11,384 12,753 15,156 18,422 归 母 净 利 润 增 长 率(%) 24.03 97.03 29.22 35.52
现金流量表（百万元） 2025A 2026E 2027E 2028E 重要财务与估值指标 2025A 2026E 2027E 2028E
经 营 活 动 现 金 流 (295) 813 1,004 1,392 每 股 净 资 产(元) 3.02 3.46 4.04 4.82
投 资 活 动 现 金 流 (1,260) (342) (416) (452) 最 新 发 行 在 外 股 份 （ 百 万 股 ） 2,956 2,956 2,956 2,956
筹 资 活 动 现 金 流 1,104 (41) (37) (27) ROIC(%) 7.57 5.87 10.29 14.78
现 金 净 增 加 额 (466) 430 550 913 ROE-摊薄(%) 7.52 12.91 14.30 16.23
折 旧 和 摊 销 210 216 259 304 资 产 负 债 率(%) 21.67 19.72 21.18 22.59
资本开支 (302) (342) (416) (452) P/E（ 现 价&最 新 股 本 摊 薄 ） 80.59 40.90 31.65 23.36
营 运 资 本 变 动 (1,254) 29 (510) (1,077) P/B（ 现 价 ） 6.06 5.28 4.53 3.79
数据来源:Wind,东 吴 证 券 研 究 所 ， 全 文 如 无 特 殊 注 明 ， 相 关 数 据 的 货 币 单 位 均 为 人 民 币 ， 预 测 均 为 东 吴 证 券 研 究 所 预 测 。
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东吴证券投资评级标准
投资评级基于分析师对报告发布日后 6 至 12 个月内行业或公司回报潜力相对基准表现
的预期（A 股市场基准为沪深 300 指数，香港市场基准为恒生指数，美国市场基准为标普
500 指数， 新三板基准指数为三板成指 （针对协议转让标的） 或三板做市指数 （针对做市转
让标的），北交所基准指数为北证 50 指数），具体如下：
公司投资评级：
买入：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准在 15%以上；
增持：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准介于 5%与 15%之间；
中性：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准介于-5%与 5%之间；
减持：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准介于-15%与-5%之间；
卖出：预期未来 6 个月个股涨跌幅相对基准在-15%以下。
行业投资评级：
增持： 预期未来 6 个月内，行业指数相对强于基准 5%以上；
中性： 预期未来 6 个月内，行业指数相对基准-5%与 5%；
减持： 预期未来 6 个月内，行业指数相对弱于基准 5%以上。
我们在此提醒您， 不同证券研究机构采用不同的评级术语及评级标准。 我们采用的是相
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